產品概述

「監控粒子的動態變化」詳實記錄粒子數量與大小。把制造環境中的粒子堆積風險，用數據化來管理

APMON采即時監控，紀錄粒子落下發生的高峰時間，進一步比對發生當下的人、事、物行為，找出引發落塵的“程序”“行為”。這一檢測粒子發生原因，并且抑 制粒子發生的過程，有助于降低5μm以上的粒子附著。是歐規標準中的重要檢討項目。

經由解析落下粒子的大小

來改善生產線潔凈度

APMON可以用圖表呈現，過去特定時段內，機臺所觀測到的粒子大小分布方式。

15~30μm一般是皮膚或纖維、100um以上則多半是衣物纖維造成。30μm以下的粒子，

雖然有可能被換氣排出，但是從現場的人員進出程序，與活動管制切入，更能快速達成目標清潔度。

在已經檢出50μm以上的大型粒子的空間里，首先應進行潔凈流程的重建，后續才能有效回復清潔，

無塵室中所使用，大型粒子的監控規格

粒子堆積率（Particle Deposition Rate）是指？

APMON不只是即時監控15~1000μm的所有粒子的動態數量，他還能計算出-段特定時間內的粒子堆積率PDR

PDR=粒子數（> Dμm）/面積（1m2）/時間（1h）

PDR能指出長時間堆積粒子的趨勢，相當于每1平方公尺，表面上的粒子濃度變化率。

探用PDR做評價風險的指標，符合IS014644-17對于大型粒子的監控要求。

相對于PDR, PDRL定了義PDR的上限值（Particle Deposition Rate Limits）

藉由監控粒子堆積率，來管制大型粒子

APMON對于PDR參數的監控，可將生產環境中的落下粒子：濃度變化、大小分布，以及覆蓋范圍變化等動態，完全掌握。這數據，將協助定義出關鍵工作區域內的大型粒子「可允許濃度」（個數/面積），并加以監控后續每當「可允許濃度」發生超標的情形，就可以立即針對相關的「行為小「接觸小、「表面清潔度J等等，進行試驗性的改善，重新降低PDR。

以下是我們對于管控無塵室內的大型粒子，提出的完整建議：

1.使用PartSens評價關鍵位置的表面污染情形。

2.使用APMON建立無塵室內的行為準則。

APMON/PartSens將粒子的夾帶、產生、堆積等過程，全面數據化。

如何詳細描述風險性粒子

關鍵粒徑（μm）

容許濃度（粒子數）

產品的關鍵表面大小（cm2）

關鍵工作區域（m2）

如何設定潔凈度的上限規格

PDR （粒子堆積率）上限

SCP（表面潔凈度）上限

檢測原理

雷射全像技術可以實現大面積的監控

借由雷射光在物體表面繞射，及傅立葉轉換等技術，實現3D成像，所得資料，即是五分鐘前的粒子落下數量與粒子大小的累積值。

最短監控時間間隔，可以短至五分鐘。

能執行大面積的監測,APMON的一大優勢

粒子計數器(air particle counter)

只能檢測漂浮在無塵室空氣中的浮游粒子

粒子計數器（air particle counter）

通常是用窄口徑的取樣管，吸入粒子。

實際上，大型粒子不容易進到粒子計數器的探測區，也無法被吸入。

ISO等國際標準，已經要求用PDR(數據化）作為落下粒子的有效管控標準。

APMON-即時粒子沉積監控器

透過在生產區域布建APMON，將可以有效監控15μm大小以上的粒子堆積行為（最短探樣區間：五分鐘）

從此，造成粒子掉落的「時間」「人員」「原因」，都將有跡可循。

■鏈接示意圖

專業軟件監控/解析數據

■判讀數據顯示示例

涵蓋粒子大小：

15~ 30~40~ 50~60、70~80~90~ 100~200~ 300~400~500>600~ 700~800~900、1000μm (最   大直徑)

應用領域

電子、半導體、醫藥、航空航天、精密儀器、汽車、實驗室等領域的潔凈室。

技術參數

可透過藍芽、或有線網路做遠端監控

感測器的安裝

玻璃的承載裝置 依粒子堆積情形做更換