產品特點及技術參數： 產品特點：本系統根據芯片鍵合應用的需要進行設計，細節方面更適合于芯片鍵合領域的使用特點。系統已在眾多進行微流控芯片研發生產的科研院所及企業得到應用，技術成熟，運行穩定。

PTL真空等離子系統致力于為航空航天、汽車工業、半導體制造、紡織技術、電子微電子、生物工程、、塑料橡膠、科研開發等行業客戶提供解決方案，以幫助客戶提高產品質量、提升生產效率，同時降低對環境的不良影響。 PTL的等離子清洗和等離子刻蝕設備。采用先進的集成化技術開發生產射頻頻率為40KHz、13.56MHz，以及代表等離子應用先進技術的2.45GHz的等離子清洗機。