P-7建立在市場領先的P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。

KLA先進的探針式臺階儀Alpha-Step D-600，可測量納米級至1200um臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

P-17是第八代臺式探針輪廓儀。該系統領先業界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

Tencor P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

Tencor P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

Tencor P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能，適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 Tencor P-170具有先進的圖案識別算法、增強的光學系統和先進的平臺，這保證了性能的穩定和系統間配方的無縫移植- 這是24x7生產環境的關鍵要求