KLA R54 四探針電阻率測量儀是KLA的電阻率測量產品。從半導體制造到實現可穿戴技術所需的柔性電子產品,薄膜電阻監控對于任何使用導電薄膜的行業都相當重要。KLA R54 四探針電阻率測量儀在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進行了優化。
該儀器傳感器陣列由16(12)個獨立傳感器組成,每個傳感器都可以測得一條套管壁厚曲線,即可測量內層管厚度及損傷情況,還可測量外層套管的厚度。
美國Extech CG204型電磁/電渦流測厚儀,雙技術提供自動識別鐵基和非鐵基。
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