Nature Communications: 硅納米器件中熱電子增強熱電效應的直接觀測
內容簡介
隨著半導體技術的不斷進步,晶體管尺寸持續縮小。在此趨勢下,電子在納米晶體管中的行為發生顯著變化,其熱平衡狀態遭到嚴重破壞,電子溫度(Te)遠高于晶格溫度(TL),形成所謂的“電子熱點”。這些電子熱點對芯片的散熱管理帶來巨大挑戰,成為制約芯片性能提升的關鍵瓶頸。目前,傳統的被動冷卻技術主要依賴材料的熱傳導性能,但由于材料熱導率存在上限,且界面熱阻在模塊總熱阻中占比逐漸增大,導致外部冷卻手段效果十分有限,難以滿足后摩爾時代納米電子學日益增長的散熱需求。
半導體熱電制冷作為一種主動冷卻技術,近年來受到廣泛關注。該技術利用熱電效應,通過電流驅動實現熱量的定向傳輸,其制冷性能不受材料熱導率的限制。在宏觀尺度上,熱電制冷技術已取得顯著進展,并在無機械運動制冷領域得到廣泛應用。然而,當尺寸縮小到納米尺度時,傳統的基于局部熱平衡(LTE)假設的熱電理論不再適用。納米尺度下,電子溫度可能顯著高于晶格溫度,且熱點區域的溫度梯度和電流密度極高,遠超宏觀尺度下可能達到的值。
針對納米尺度下半導體器件的熱電特性,復旦大學Huanyi Xue等研究人員,采用Bruker Dimension Icon原子力顯微鏡的掃描熱顯微模式(SThM), 研究了硅納米器件中的熱電效應。研究通過實驗和數值模擬相結合的方法,探索硅在非平衡態下的熱電性能,并驗證非平衡態下基于電子溫度的熱電效應增強機制,為未來納米電子學的熱管理提供新的理論依據和實驗指導。
相關成果Direct observation of hot-electron-enhanced thermoelectric effects in silicon nanodevices于2023年6月發表于Nature Communications上。
研究中采用磷摻雜(濃度約為1×1019cm-3)的硅薄膜(厚度約90nm),通過外延生長法沉積在高電阻率Si襯底上。利用納米限制結構設計,將電流集中在寬度約400nm的狹窄區域,從而實現高度局域化的電子熱點。這種結構設計使得在外部偏壓作用下,電場主要集中在納米限制區域,為研究納米尺度下的熱電效應提供了理想平臺。
掃描熱顯微鏡(SThM)是一種接觸式納米溫度測量技術,通過探針檢測樣品表面的局部晶格溫度分布。在此實驗過程中,樣品置于常溫常壓環境下,施加交流或脈沖電壓,激發樣品產生熱信號。SThM 探針掃描樣品,收集的熱電壓信號經處理生成溫度分布圖像。
圖1. a 原子力顯微鏡圖像顯示了約400nm寬的限制區域和約120納米的高度變化(ΔH),展示了通道的平滑表面和尖銳的蝕刻邊界。b 利用SNoiM技術在對狹窄導電通道施加10V偏壓時測得的二維Te圖像。c 利用SThM技術在同一設備上測得的二維TL圖像,與SNoiM測量的偏壓相同,均為10V。d 在與b和c圖相同的偏壓條件下,沿通道獲取的Te(紅點)和TL(藍點)的一維曲線。箭頭指示了Te和TL曲線的寬度。虛線垂直藍線標記了限制區域的中心,以引導TL的偏差。圖中標示了所施加電壓的極性。
圖1a顯示了限制區域周圍的原子力顯微鏡(AFM)高度信號圖像,展示了通道的平滑表面和尖銳的蝕刻邊界。通過AFM確認的約120nm的蝕刻深度大于摻雜層的厚度,確保了所有電流都限制在限制區域的外延層內。通過歐姆接觸電極在源極和漏極之間施加偏壓(正弦波或方波)。線性電流-電壓(I-V)特性證實了良好的歐姆接觸,排除了接觸電極的整流行為對本研究結果的可能影響。
為直接探索器件的非平衡特性,該研究采用結合掃描噪聲顯微鏡(SNoiM)與掃描熱顯微鏡(SThM)的方法,分別探測電子與晶格子系統的Te和TL。SNoiM 是一種新開發的非接觸式輻射電子納米溫度測量技術,通過檢測源于熱電子隨機熱運動的約20.7±1.2THz的近場fluctuating電磁場,提供Te分布信息。相比之下,SThM是一種接觸式納米溫度測量技術,利用探針檢測局部TL分布。圖1b、c顯示了在10V交流方波偏壓下納米結構周圍Te和TL的二維空間分布,與圖1a的掃描區域相同。Te和TL的熱點均可見且集中在導電通道的瓶頸處。Te的峰值超過1500K(ΔTe~1200K),而在相同偏壓下晶格子系統TL最大值僅約為320K(ΔTL~20K)。這一顯著的溫差證明了傳導電子與晶格子系統之間存在非平衡現象。為了詳細比較Te和TL,圖1d描述了在與圖1b、c相同偏壓條件下沿通道獲取的Te(紅點)和TL(藍點)的一維曲線,其中Te和TL的垂直坐標比例尺已調整使峰值高度對齊。顯然,TL的線形略寬于Te(見箭頭指示)。Te的尖銳窄峰展示了由電子子系統相對較小的比熱和低熱導率引起的典型非平衡特征。
圖2.通過SThM解耦檢測來自TL的焦耳熱和熱電信號。a–c在施加正弦波交流電壓(6–10V)時,解調于二階諧波的焦耳熱二維圖像。d–f在施加方波交流電壓(6–10V)且極性相同時,解調于一階諧波的熱電(TE)制冷/加熱二維圖像。g在與f圖相同偏壓條件下,TE信號的相位(Φ)圖像,直接顯示在限制區域中間Φ發生約180°的突變。h在與f圖相反偏壓極性下的TE制冷/加熱二維圖像。為了展示信號隨電壓的演變,焦耳和TE圖的顏色比例尺被刻意調整。所有比例尺均為400nm。
為了從檢測到的總熱信號中提取純熱電制冷/加熱信號和焦耳熱信號,對器件施加兩種波形調制的交流電壓(正弦波和方波)。通過提取方波/正弦波調制下的第一/第二諧波響應,熱電和焦耳信號得以解耦并直接觀測。圖2a–f展示了在不同偏壓下限制區域周圍的焦耳熱(圖2a–c)和熱電效應(圖2d–f)的空間分布。隨著電壓升高,焦耳熱和熱電信號的強度均單調增加。焦耳熱的熱點由于縮小結構的高電流密度而被限制在限制區域內。相比之下,熱電制冷/加熱的空間分布在限制區域的兩側,中間有尖銳的節點(ΔTTE=0),當電流沿+x方向流動時,左側顯示加熱效應,右側顯示制冷效應。原則上,熱電信號由鎖相幅值R和相位Φ的余弦值相乘得到,因此熱電制冷(負號)/加熱(正號)的符號由Φ決定。圖2g展示了與圖2f相同偏壓條件下的Φ空間分布圖,Φ在限制區域中間位置發生約180°的突變,從而直接證明了熱電制冷/加熱符號的變化。當電流方向反轉時,熱電制冷/加熱信號相應交換,表明熱電制冷/加熱效應依賴于電流方向,如圖2h所示。
圖3. 實驗數據與模擬結果比較。a、b在偏壓為3–10V時,焦耳熱和熱電信號的實驗一維分布。圖2f中的二維熱電圖作為插圖展示,以便與模擬結果進行比較。c焦耳(紅點)和熱電(藍點)信號與電壓(電流)的關系,采用平方(淺紅線)和立方(淺藍線)擬合。誤差條表示從多次SThM測量的標準偏差中提取的ΔTTE的20 mK不確定性。圖中插圖顯示了TE與焦耳比值隨電壓的變化(紫點)。d、e在偏壓為3–10V時,模擬得到的焦耳熱和熱電信號的一維分布。圖e的插圖顯示了模擬得到的10V偏壓下的熱電圖。f模擬的焦耳(紅點)和熱電信號(藍點)與電壓(電流)的關系,采用平方(淺紅線)和立方(淺藍線)擬合。圖中插圖顯示了TE與焦耳比值隨電壓的變化(紫點)。
為了深入理解器件中的熱電傳輸機制,作者從涉及熱電效應的載流結構中通用的熱傳輸公式出發,利用有限元方法進行了三維建模。在10V直流偏壓下模擬得到的Te和TL分布與實驗結果具有相似的非平衡特性,峰值(Te~1596K和 TL~325K)和線形特征與實驗結果吻合。為進一步比較模擬結果與實驗數據,圖4b繪制了從4V到10V的偏壓增加時的模擬Te分布(彩色曲線)以及實驗結果(彩色點)。模擬的峰值和線形均與實驗數據高度一致,從而確保了數值方法的可靠性。
模擬得到的焦耳熱和熱電制冷/加熱效應結果如圖3d–f所示,可直接與實驗數據進行比較。模擬的焦耳熱(圖3d)和熱電信號(圖3e)的熱分布與實驗中的特征一致,包括線形、峰值、制冷與加熱峰之間的距離以及隨偏壓增加的演變。此外,模擬得到的10V偏壓下的二維熱電分布(圖3e的插圖)也顯示出與實驗(圖3b的插圖)類似的輪廓和熱電特性。有趣的是,模擬的焦耳熱和熱電信號(圖3f)清晰地顯示出對偏壓(電流)的平方和立方依賴關系,從而導致TE與焦耳信號的比值隨偏壓線性增加,與實驗結果一致。
圖4. 非平衡態熱電效應中Te調制的特征。a在電子(上方示意圖)和晶格系統(下方示意圖)內/之間的能量流示意圖。b在偏壓為4–10V時,沿通道獲取的實驗測量Te(點)和模擬(實線)Te的一維分布。插圖顯示了從實驗(藍點)和模擬(紅點)中提取的ΔTe(Te-TRoom)的峰值隨電壓(電流)變化關系,并以二次擬合(淺紅線)表示。c當以頻率f的正弦波電流施加于器件時,ΔTe(??Π)以2f頻率振蕩。由于相關性:ΔTTE(??ΠJ)與I3成正比,總熱電信號(ΔTTE)會受到基頻(1f)和三階(3f)諧波的調制,可通過傅里葉變換分離。d 在Vb=10 V時,通過鎖相技術解調的一階和三階諧波的熱信號沿通道的一維分布。
圖4a展示了電子系統(上部示意圖)和晶格系統(下部示意圖)內的能量流動情況。在非平衡態下,電子溫度顯著高于晶格溫度,電子在通過納米限制區域時獲得能量,形成高溫的電子熱點。這些熱電子通過電子-聲子散射將部分能量傳遞給晶格,導致晶格溫度升高,但電子與晶格之間的能量交換不足以使兩者溫度迅速達到平衡。圖4b顯示了在4–10V偏壓下沿通道獲取的電子溫度(Te)的一維分布。實驗測量的Te值以點表示,模擬結果以實線表示。隨著偏壓的增加,Te的峰值顯著升高,表明電子溫度隨偏壓的增加而增加。插圖展示了從實驗(藍點)和模擬(紅點)中提取的ΔTe(Te-TRoom)的峰值隨電壓(電流)變化的關系,并以二次擬合(淺紅線)表示。結果表明,電子溫度的分布與偏壓密切相關,且模擬結果與實驗測量值高度吻合。圖4c解釋了當以頻率f的正弦波電流施加于器件時,ΔTe(與電子溫度梯度相關)以2f頻率振蕩。由于熱電效應與電流的三次方成正比(ΔTTE∝I3),總熱電信號(ΔTTE)會受到基頻(1f)和三階(3f)諧波的調制。通過傅里葉變換可以分離這些諧波分量。實驗中,通過鎖相技術解調的一階和三階諧波的熱信號沿通道的一維分布如圖4d所示。結果顯示,三階諧波分量的線形與一階分量相反,且其幅度約為一階分量的三分之一。這種諧波特性直接證明了非平衡態熱電效應的非線性特征,表明熱電效應的強度隨電流的增加呈三次方增長。
本研究采用Bruker Dimension Icon原子力顯微鏡的SThM模式,首次在硅納米器件中直接觀測到非平衡態熱電效應,并通過數值模擬對其進行了深入分析。研究結果表明,在非平衡態下,基于電子溫度的Peltier系數定義能夠準確描述熱電效應,且熱電冷卻/加熱效應呈現出隨電流增加的非線性增強特性。盡管熱電效應的強度相對焦耳熱較小,但其非線性特性為未來芯片冷卻技術的發展提供了新的思路。這些研究成果不僅加深了對納米尺度熱電效應的理解,也為后摩爾時代納米電子學的熱管理技術發展奠定了重要的理論和實驗基礎,有望推動高性能、低功耗電子器件的進一步發展。
本文相關鏈接:
原文鏈接:
https://www.nature.com/articles/s41467-023-39489-z
Dimension Icon原子力顯微鏡簡介:
https://www.bruker.com/zh/products-and-solutions/microscopes/materials-afm/dimension-icon-afm.html
全部評論(0條)
推薦閱讀
-
- Nature Communications: 硅納米器件中熱電子增強熱電效應的直接觀測
- 針對納米尺度下半導體器件的熱電特性,復旦大學Huanyi Xue等研究人員,采用Bruker Dimension Icon原子力顯微鏡的掃描熱顯微模式(SThM), 研究了硅納米器件中的熱電效應。
-
- Nature Communications: 硅納米器件中熱電子增強熱電效應的直接觀測
- 隨著半導體技術的不斷進步,晶體管尺寸持續縮小
-
- Nature Communications:納米紅外研究無機納米顆粒-聚合物復合材料界面效應
- 近期,來自武漢理工大學、清華大學、伍倫貢大學等學校的科學家們將Bruker的光熱誘導納米紅外技術與其他先進技術相結合,直接探索納米顆粒-聚合物納米級界面區域。
-
- Nature Communications:二維光電器件中的非對稱光操控
- 近期,天然三維晶體中的剪切極化激元可以實現光的非對稱傳播,進一步提升了納米尺度光的定向操控能力。然而,這類極化激元的調控受限于體材料本征屬性,難以實現動態調節
-
- Nature Communications:二維光電器件中的非對稱光操控
- 同濟大學物理科學與工程學院王占山教授和程鑫彬教授團隊的江濤教授,聯合美國紐約城市大學Andrea Alù教授、中南大學的倪祥教授,提出了一種基于二維范德華材料的剪切極化激元調控策略。
-
- Nature Communications:具有增強高溫電容儲能性能的金屬有機籠交聯納米復合材料
- 來自清華大學和華南理工大學的科學家們通過具有氨基反應位點的自組裝金屬有機籠(NH2-TOC)摻入聚醚酰亞胺(PEI)基體中,合成了金屬有機籠交聯納米復合材料(PEI-g-TOC)
-
- Nature Communications – 晶格畸變增強高熵金屬間化合物合金的強度和塑性
- 高熵金屬間化合物合金與傳統高熵合金不同,它從現有的金屬間化合物出發,利用多種元素對金屬間化合物的亞晶格進行多主元化,并逐漸形成一種具有長程有序結構的新型高熵材料。
-
- 研究前沿:飛秒激光打造“可擦寫”智能納米表面-光芯片 | Nature Communications
- 飛秒激光打造“可擦寫”智能納米表面,未來光學器件迎來革命具有可切換納米結構表面的材料,實現了超越天然材料的光
-
- 彎液面:3D打印 | Nature Communications
- 無論是固體還是液體,從微觀到介觀尺寸,在各種微流體和微制造應用中,調控漂浮物體,是至關重要的。雖然毛細管彎液
-
- 用戶速遞 | Nature Communications: 雙異質核殼納米晶顯著提高X射線延時3D成像
- 中國計量大學光電學院徐時清教授團隊在低劑量柔性X射線成像技術領域取得重要進展
-
- Nature Communications: 由金和銅獨立準BCC納米晶格制成的具有超高能量吸收能力的機械超材料
- 超材料是一種經過設計的復合材料,由周期性或非周期性排列的結構單元組成,展現出超越傳統塊體材料的性能和獨特功能。其中,能量吸收型機械超材料引起了極大的關注,因為高效吸收機械能對于許多應用來說至關重要。
-
- 量子隧穿高速納米激子調制器,Nature子刊! 掃描探針顯微鏡控制器助力納米光電器件新成果
- 量子隧穿高速納米激子調制器,Nature子刊! 掃描探針顯微鏡控制器助力納米光電器件新成果
-
- 光伏材料與器件 | Nature Reviews Materials
- 光伏Photovoltaic (PV)技術有助于向碳中性和可持續社會轉型。近日,德國于利希研究中心(fors
①本文由儀器網入駐的作者或注冊的會員撰寫并發布,觀點僅代表作者本人,不代表儀器網立場。若內容侵犯到您的合法權益,請及時告訴,我們立即通知作者,并馬上刪除。
②凡本網注明"來源:儀器網"的所有作品,版權均屬于儀器網,轉載時須經本網同意,并請注明儀器網(www.bsql22076.com)。
③本網轉載并注明來源的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點或證實其內容的真實性,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品來源,并自負版權等法律責任。
④若本站內容侵犯到您的合法權益,請及時告訴,我們馬上修改或刪除。郵箱:hezou_yiqi
參與評論
登錄后參與評論