Dimension FastScan Pro 提供當(dāng)今工業(yè)界相當(dāng)快速的掃描和豐富的性能測(cè)量。該系統(tǒng)支持全自動(dòng)或半自動(dòng)測(cè)量，同時(shí)具有易操作性以及滿足實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制、質(zhì)量保證和故障分析的低成本要求。

生產(chǎn)多功能性

FastScan Pro 利用開放性平臺(tái)、大樣品或多樣品平臺(tái)以及各種易用性功能，為工業(yè) QA、QC 和 FA 部門提供靈活的高性能納米級(jí)計(jì)量。該系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體界、硬盤界、HB-LED業(yè)界 的 2 英寸至 12 英寸晶圓的自動(dòng)測(cè)量。它具有增加的 XY 方向行程，可完全訪問 200mm 晶圓或直徑為 200 mm 的面積中的多個(gè)樣品中的多個(gè)區(qū)域，并配有 300 mm 晶圓的可選樣品臺(tái)。該系統(tǒng)還提供用于形貌、粗糙度和其他計(jì)量參數(shù)的分析。擁有可更換的高速FastScan 掃描頭以及具有 90μm 掃描范圍的 Icon 掃描頭（用于更大的掃描和高精度地形性能）。

強(qiáng)大的自動(dòng)化軟件

AutoMET? 的測(cè)量流程軟件提供操作簡(jiǎn)單、快速、全自動(dòng)、以及關(guān)鍵的質(zhì)量控制參數(shù)。該軟件允許在多個(gè)樣品或單個(gè)大型樣品上進(jìn)行多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量。它還提供光學(xué)和 AFM 圖型識(shí)別、探針針尖中心化、空白晶圓和圖形化后晶圓的測(cè)試，以及數(shù)十納米范圍內(nèi)的圖像位置對(duì)準(zhǔn)精確度。全面而簡(jiǎn)單的測(cè)量流程編寫使高級(jí)用戶在在線和離線軟件的應(yīng)用中跟快捷、有效。

輕松創(chuàng)建測(cè)量流程，使工程師能夠按名稱定義測(cè)量位置、以及測(cè)量方式和每個(gè)位置的測(cè)量次數(shù)

流程測(cè)試窗口，顯示基于晶圓的分布，用于精確定義X-Y 測(cè)量位置。

精確控制探針于樣品之間相互作用

獨(dú)特的原子力顯微鏡技術(shù)可以控制探針和樣品之間任何一點(diǎn)的范德華力。這種精確的探針和樣品之間的力控制允許將機(jī)器用在廣泛的樣品類型上，從軟聚合物、薄膜和電氣樣品到硬材料。它還提供最 低的可用于成像的力，探針壽命超過數(shù)百次掃描和數(shù)據(jù)收集。

Dimension FastScan Pro 擁有精確控制探針于樣品的相互作用的能力，適用于各種樣品類型，從軟聚合物、薄膜和電學(xué)樣品到非常堅(jiān)硬的材料都可以進(jìn)行掃描。