探針式輪廓儀/臺階儀Tencor P7 /P17

PLS-F1000晶圓幾何形貌測量及參數自動檢測機

晶圓幾何形貌測量及參數自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現晶圓的非接觸式測量，結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統適用于晶圓多種材質的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；

PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數自動檢測機

晶圓幾何形貌及參數自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數的自動晶圓形貌檢測及分選機。

PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數紅外干涉自動檢測機

晶圓幾何形貌及參數紅外干涉自動檢測機使用高精度高速紅外干涉點傳感器實現晶圓的非接觸式測量，結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統適用于晶圓多種材質的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以實現的尺寸與結構測量內容包括： 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness ， TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。

QuickPRO-RPS--旋轉剖面儀

專為測量旋轉對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計，如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡

三維光學輪廓儀ContourX-500

ContourX-500 具有卓越的 Z 軸分辨率和準確度，并具備布魯克落地式白光干涉（WLI）儀器廣受業界認可的所有優勢，而占地面積更小

三維光學輪廓儀ContourX-200

ContourX-200 光學輪廓儀提供了高級表征能力、可選定制配件、和使用方便三者的完美融合，是同類產品中*快、*準確、可重復性*高的非接觸式三維表面計量系統。

三維光學輪廓儀ContourX-100

具備最高性價比的 ContourX-100 光學輪廓儀為精確的、可重復的、非接觸式表面測量樹立了新基準。