隨著藍寶石基板 PSS結構 的間距趨近 2 微米，傳統的共聚焦技術失去了提供有價值的工藝測量所需的分辨率。Dimension Edge PSS 原子力顯微鏡 （AFM） 擁有亞納米分辨率和一次測量多達 9 個 2 英寸晶圓（或單個 4 或 6 英寸晶圓）的能力，能夠解決測量中的高分辨、高效的需求，提供了PSS 制造過程所需要進行的大量檢測數據。

除了Dimension EDGE PSS 內置的特定 PSS 測量功能外，該系統還集成了 布魯克Dimension 顯微鏡系列著名的掃描技術，適用于外延粗糙度測量中高分辨率、低噪聲的要求，包括了輕敲模式、接觸模式、相位測量等標準的AFM模式以及AFM專有的抬高模式。

Dimension  Edge PSS 系統集成了專門設計用于滿足LED制造要求的AutoMET軟件。 該軟件具有兩種不同級別的操作模式：

操作員級別：簡單的用戶界面，一步步指導用戶完成探針更換，激光對齊，Tune 探針和確認探針安裝的步驟。 一鍵完成多達9個晶圓“”合格/失敗“”的分類測試結果的自動輸出，

工程師級別：受密碼保護的用戶界面， 工程師可以訪問所有關鍵的AFM參數。 在這種模式下，制程工程師可以輕松設置所有必需的“”通過/失敗“檢測”標準。

Dimension Edge PSS通過輕松的激光對準、自動生成報告的方式提高了系統的可操作性，使用戶感受到有史以來最 佳的AFM用戶體驗。